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Three-dimensional optical transfer functions in the aberration-corrected scanning transmission electron microscope.

机译:像差校正扫描透射电子显微镜中的三维光学传递函数。

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摘要

In the scanning transmission electron microscope, hardware aberration correctors can now correct for the positive spherical aberration of round electron lenses. These correctors make use of nonround optics such as hexapoles or octupoles, leading to the limiting aberrations often being of a nonround type. Here we explore the effect of a number of potential limiting aberrations on the imaging performance of the scanning transmission electron microscope through their resulting optical transfer functions. In particular, the response of the optical transfer function to changes in defocus are examined, given that this is the final aberration to be tuned just before image acquisition. The resulting three-dimensional optical transfer functions also allow an assessment of the performance of a system for focal-series experiments or optical sectioning applications.
机译:在扫描透射电子显微镜中,硬件像差校正器现在可以校正圆形电子透镜的正球面像差。这些校正器利用诸如六极或八极之类的非圆形光学器件,导致极限像差通常是非圆形类型的。在这里,我们通过其产生的光学传递函数,探索了许多潜在的极限像差对扫描透射电子显微镜成像性能的影响。特别地,考虑到这是恰好在图像采集之前要调整的最终像差,检查了光学传递函数对散焦变化的响应。由此产生的三维光学传递函数还可以评估用于焦距系列实验或光学切片应用的系统性能。

著录项

  • 作者

    Jones, L; Nellist, PD;

  • 作者单位
  • 年度 2014
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类

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